Leej twg paub txoj kev tu ntawm silicon wafer ultrasonic tu tshuab?
Mar 22, 2022
Muaj peb hom kev ntxuav lub cev:
1.Scrub lossis txhuam: tuaj yeem tshem tawm cov pa phem thiab feem ntau ntawm cov yeeb yaj kiab daig ntawm zaj duab xis.
2.High siab tu: nws yog txau rau saum npoo ntawm daim ntawv nrog kua, thiab lub siab ntawm lub nozzle yog mus txog ob peb puas atmospheres. Kev kub siab tu los ntawm kev ua haujlwm dav hlau, zaj duab xis tsis yooj yim los tsim khawb thiab puas. Txawm li cas los xij, kev txhaj tshuaj siab yuav ua rau cov nyhuv electrostatic, uas tuaj yeem zam tau los ntawm kev kho qhov kev ncua deb thiab lub kaum sab xis ntawm lub nozzle mus rau zaj duab xis los yog ntxiv tus neeg sawv cev antistatic.
Ultrasonic tu: ultrasonic suab zog rau hauv cov tshuaj, los ntawm cavitation ntxuav tawm cov pa phem ntawm lub wafers. Txawm li cas los xij, nws yog qhov nyuaj dua kom tshem tawm cov khoom me dua 1 micron los ntawm graphed wafers. Yog tias qhov zaus tau nce mus rau uHF, cov nyhuv tu zoo dua.
Kev tu tshuaj lom neeg: txhawm rau tshem tawm atomic, ion tsis pom kev ua qias tuaj, muaj ntau txoj hauv kev, hnyav extraction, pickling (sulfuric acid, nitric acid, aqua aqua, ntau yam sib xyaw acids, thiab lwm yam) thiab plasma txoj kev. Cov txheej txheem ntxuav hydrogen peroxide muaj cov txiaj ntsig zoo thiab muaj kuab paug ib puag ncig.
